
| ഗ്രേറ്റിംഗ് പിച്ച് | 20ഉം |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| താപ വികാസം | 10.6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| റെസല്യൂഷൻ | 0.5-1-5μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ആവർത്തനക്ഷമത | ±1 വർദ്ധനവ് | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| പരമാവധി വേഗത മീ/മിനിറ്റ് | 60(5μm) ; 20 (1μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ഔട്ട്പുട്ട് തരം | ടിടിഎൽ / ഇഐഎ422എ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| പരമാവധി ത്വരണം | 20 മീ/ച.ചതുരശ്ര വിസ്തീർണ്ണം | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| സംരക്ഷണം | ഐപി 54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| വൈദ്യുതി വിതരണം | 60mA പരമാവധി | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ഫേസ് ഡിസ്പ്ലേസ്മെന്റ് | 90°±5° ഇലക്ട്രിക്കൽ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| പ്രവർത്തന താപനില | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| സംഭരണ താപനില | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ഈർപ്പം | 100% സംഗ്രഹിച്ചിട്ടില്ല |